Global web icon 官网logo
首页
核心技术菜单下拉箭头
薄膜铌酸锂光子芯片技术飞秒激光直写光子芯片技术量擎量子计算开发平台DeepQuantum量子计算编程框架
产品中心
解决方案菜单下拉箭头
量智融合量子教育金融科技生物医药量子安全智慧交通
新闻资讯
关于我们
加入我们
切换语言中文下拉展开
工作台
用户中心
我的账户

飞秒激光直写机 Femto X

图灵量子自主研发高精度、无掩膜、非接触式的高稳定性飞秒激光直写系统,可实现光刻胶、熔融石英、半导体晶圆以及金属等材料的三维直写加工以及表面二维结构成型制造,快捷通过自研图形化可控制软件进行物体切片和路径选择,高效完成对小、中、大尺寸微纳结构加工路径仿真及高精度加工,并可通过定制化服务对特殊需求的光束整形器件进行设计研发。
科研级高精密飞秒激光直写系统
科研级高精密飞秒激光直写系统FemtoX Kit 1.0
兼容性智能飞秒激光直写系统
兼容性智能飞秒激光直写系统FemtoX Lab 1.0
智能化高精密飞秒激光直写系统
智能化高精密飞秒激光直写系统FemtoX Lab 2.0
产品介绍
核心指标
系统功能
定制化功能
应用范围
产品介绍
科研级高精密飞秒激光直写系统
FemtoX Kit 1.0
支持各光学模块化组装和扩展,可实现压微米级加工精度,用于科研用户加工过程监测、激光加工机理、光束整形以及先进加工技术探索。
核心指标
双波长
1030nm/515nm
脉宽
≤300fs
最大平均功率
10W@ 1MHz
XY行程
150mm
重复定位精度
±300nm
最大速度
800mm/s
百纳米级加工精度
XYZT多轴气浮移动平台
PSO功能联动控制
支持CAD文件、图片导入,路径优化
系统功能

光学系统模块化、一体化设计

高分辨率同轴变焦成像系统

集成SLM、DMD空间光调制模块

涡旋矢量光场调制

封闭式集成光腔,可扩展,光路搭建和调试更加便捷

定制化功能
功能化定制,波长、物镜可选配
功能化定制,波长、物镜可选配
多光学接口扩展
多光学接口扩展
专用夹具系统定制
专用夹具系统定制
光束整形,具备更多加工自由度
光束整形,具备更多加工自由度
加工过程检测
加工过程检测
应用范围
微纳加工
适用于半导体、金属、聚酯物、玻璃等材料及器件的飞秒激光微纳加工技术及机理研究
适用于半导体、金属、聚酯物、玻璃等材料及器件的飞秒激光微纳加工技术及机理研究
联系我们
联系电话+86 021-54152588
联系邮箱contact@turingq.com
用光子芯片和量子计算
驱动算力变革
联系我们联系我们加入我们加入我们
核心产品
TuringQ Gen2Quantuminspire求解器量擎量子计算开发平台量子加密芯片
解决方案
智算中心量子教育金融科技生物医药智慧交通
关于我们
企业介绍荣誉奖项发展历程创始人团队介绍
图灵量子官方二维码
图灵总部
上海市闵行区剑川路888号2号楼
上海市闵行区剑川路930号A幢1楼
友情链接
Future|远见上海交通大学光子集成与量子信息实验室无锡光子芯片联合研究中心
沪ICP备2021016360号-2    上海图灵智算量子科技股份有限公司