飞秒激光直写三维光子芯片技术

飞秒激光直写是一种将脉冲激光光束聚焦于材料表面或内部，通过激光焦点与材料的非线性相互作用，引起材料性质改变的微纳加工技术。得益于飞秒激光直写的独特加工方式，可以实现任意三维形状结构的加工制备，这给片上三维光子集成提供了可能。

图灵量子以超精密飞秒激光加工工艺研发为核心，针对未来量子信息技术与海量数据存储技术中亟待解决的关键问题，开展片上集成量子计算前沿技术研究，拥有超过10年的丰富研发经验，目前围绕“前沿工艺—先进平台—装备产业化”形成了全程自主可控的技术积累，加速飞秒激光加工工艺以及智能激光直写装备的产业化应用。